隨著科學(xué)研究的發(fā)展速度，現(xiàn)如今對微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展,傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向發(fā)展,同時(shí)生命科學(xué)的發(fā)展大大促進(jìn)了用于微流體,生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、衛(wèi)生、食物等學(xué)科研究新型流量傳感器的研究開發(fā),微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

鼎悅電子向大家介紹一下OMRON的新品 MEMS流量傳感器：

1、產(chǎn)品特點(diǎn)：

流量傳感器具有體積小、重量輕、讀數(shù)直觀清晰、可靠性高、無壓力損失

能大限度發(fā)揮燃料電池發(fā)電效率的高精度MEMS流量傳感器，應(yīng)用氣體流量測試技術(shù)檢測僅為1毫米/秒的氣體流量。作為減輕環(huán)境負(fù)擔(dān)的新一代燃料電池系統(tǒng)零部件，MEMS流量傳感器發(fā)揮著重要的作用。 燃料電池的原理就是將城市燃?xì)庵泻械臍錃馀c氧氣混合在一起，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行發(fā)電。為了盡量提高發(fā)電效率，需要使氫氣與氧氣在合適的混合比率的情況下進(jìn)行燃燒。為了達(dá)到這一目的，需要發(fā)揮MEMS流量傳感器的高精度測試技術(shù)。歐姆龍MEMS流量傳感器采用超細(xì)微加工技術(shù)，開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。隨著燃料電池的普及，對歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。

2、流量傳感器工作原理：

流量傳感器,是一種用于檢測液體、氣體等介質(zhì)的流量參數(shù)并將其轉(zhuǎn)換為其他形式的信號進(jìn)行輸出的一種檢測用儀器儀表（從氫氣及氧氣形成電能）實(shí)現(xiàn)有效的化學(xué)反應(yīng)，高精度地檢測氫氣及其氧氣的流量。